2551-62-4/六氟化硫的合成工藝

六氟化硫被廣泛應(yīng)用于電力設(shè)備行業(yè)、半導(dǎo)體制造業(yè)、冷凍工業(yè)、有色金屬冶煉、航空航天、醫(yī)療(X光機(jī)、激光機(jī))、氣象(示蹤分析)、化工等行業(yè)。由于六氟化硫具有優(yōu)良的絕緣性能和減弧能力，工業(yè)級六氟化硫廣泛應(yīng)用于電力設(shè)備中的輸配電及控制設(shè)備行業(yè)，包括氣體絕緣開關(guān)設(shè)備、斷路器、高壓變壓器、絕緣輸電管線、高壓開關(guān)、氣封閉組合電容器、互感器等，是繼第一代空氣、第二代油之后的第三代絕緣介質(zhì)。

電子級六氟化硫則主要應(yīng)用于半導(dǎo)體及面板顯示器件生產(chǎn)工藝中的蝕刻與清洗，具有用量少、純度高、對生產(chǎn)及使用環(huán)境潔凈度要求高和產(chǎn)品更新?lián)Q代快等特點(diǎn)，國內(nèi)僅有少數(shù)廠家具備生產(chǎn)能力。

工業(yè)上六氟化硫通常是由電解產(chǎn)生的氟在中高溫下與硫反應(yīng)來制備。大致生產(chǎn)過程是通過電解槽電解無水氟化氫制取F2，與加入反應(yīng)釜的單質(zhì)硫反應(yīng)，再通過熱解塔在350 °C裂解毒性較大的副產(chǎn)物S2F10，并通過水洗和堿洗除去HF、F2等雜質(zhì)后進(jìn)入低壓吸附去除水分、高壓吸附去除酸性氣體，在-30 °C蒸餾去除空氣和低沸點(diǎn)氣體，逸出的SF6通過尾氣捕集器(-60°C) 進(jìn)行捕集后充裝。

雅克科技的子公司科美特為國內(nèi)六氟化硫龍頭，現(xiàn)具備六氟化硫產(chǎn)能7000噸/年。2018年2月公司公告擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目環(huán)評，擬新增1000噸/年電子級SF6和2000噸/年CF4產(chǎn)能，擴(kuò)產(chǎn)完成后公司將進(jìn)一步鞏固在國內(nèi)的龍頭地位。除科美特外，上市公司昊華科技下屬黎明院具備六氟化硫產(chǎn)能2800噸/年，新增2000噸/年產(chǎn)能在2018年底時尚處于環(huán)評評審階段。